氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9~10-12Pam3/s,普遍地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声明显减小.其灵敏度可达10-14~10-15Pam3/s,适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点,适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的专门使用仪器。安徽移动式氦质谱检漏仪生产厂家
氦质谱检漏仪在压力容器中喷氦法检漏应该注意以下几个问题:1、实际的检漏灵敏度比理论计算值低,一是由于喷口所喷出的氦气流是散开的,故掺有一定数量的空气,使氦气的浓度有所降低。二是喷口喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向,此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。2、检漏次序:从被检件物体的上方至下方,由检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行喷氦检查。3、检出的大漏孔要经修补后再去找小漏孔。4、当存在两个相距很近的可疑的漏孔点时,应先把一个点盖住,在对另一点用较细的喷口进行喷氦。5、当喷口喷在某一点时,如果,检漏仪上的显示有变化,其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。6、检出漏孔后,还应再做几次复检。7、检漏场地要有良好的通风条件,但也不能太大,不应影响喷口喷出的氦气气流的方向。江苏进口氦质谱检漏仪氦检模块氦质谱检漏仪维护保养方法:机械泵维护,检查机械泵油量,如低于较低标线则添加泵油。
氦质谱检漏仪正压法原理:采用正压法检漏时,需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中,再采用吸口的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量,从而实现被检产品泄漏测量。按照收集氦气方式的不同,又可以将正压法分为正压吸口法和正压累积法。其中正压吸口法采用检漏仪吸口对被检产品外表面进行扫描探查,可以实现漏孔的精确定位; 正压累积法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来,采用检漏仪吸口测量一定时间段前后的氦罩内氦气浓度变化量,实现被检产品总漏率的精确测量。正压法的优点是不需要辅助的真空系统,可以精确定位,实现任何工作压力下的检测。
氦质谱检漏仪技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了普遍应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。了解工件的漏孔问题是选择氦质谱检漏仪的必要条件。
氦质谱检漏仪关机步骤:1、关冷规,关抽速阀。2、将总电源转到“前级泵”。3、等20分钟左右,扩散泵已冷,将总电源转到“关”。氦质谱检漏仪检漏注意事项:1、工件要保持清洁、干燥。2、对工件喷氦应按以下顺序进行:①从上往下。②从靠近测试口到远离测试口。3、喷氦时应经常检查喷口口是否有氦气喷出。4、检完工件,必须将“节流阀”关闭,才能取工件。5、对同一工件,如有两处以上漏点,应排除Zda的漏点后,再对其它地方检漏。6、装工件时应使连接处密封好,不能有漏。7、检漏间应通风良好,避免氦气浓度,但应避免强通风。8、氦气属贵重气体,应避免泄漏浪费。氦质谱检漏仪修长的体积,优越的性能,适用于众多行业。金华真空氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪使用方法有哪些?安徽移动式氦质谱检漏仪生产厂家
氦质谱检漏仪开机步骤:1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,戴表压强的质谱室表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。5、将工件用外接泵抽上真空后,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对被检件喷氦检漏。检漏完毕。安徽移动式氦质谱检漏仪生产厂家
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